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        產品中心
        產品名稱:

        等離子清洗機

        描述:雅馬拓YSP63FA等離子清洗機:可進行樣品傳輸系統(tǒng)定制。可通過網(wǎng)絡進行遠程操作。
        • 更新時間:2024-06-15
        • 產品型號:YSP63FA
        • 產品廠地:上海市
        • 訪問次數(shù):1170

        產品介紹

        雅馬拓YSP63FA等離子清洗機產品特點:
        可進行樣品傳輸系統(tǒng)定制。
        操作快捷方便:放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒。
        軟性基板也可以進行傳送操作。
        傳送速度可在Hi-Low間調節(jié)。
        可通過網(wǎng)絡進行遠程操作(選購品)。
        提高各種材料的粘接性、表面改質處理
        清洗各類基板。
        電子部品、材料表面改質。
        更容易嵌入生產線使用。
        可通過操作面板自由切換等離子模式。

        雅馬拓YSP63FA等離子清洗機產品參數(shù):

        型號

        YSP63FA

        模式

        RIE(DP模式選購)

        高頻輸功率

        600W

        反應臺尺寸

        W385×D362mm

        內腔尺寸

        W395×D378×H45mm(內尺寸)

        反應氣體

        2進氣系統(tǒng)(氧氣、氬氣)

        反應氣體流量控制

        質量流量控制器

        真空泵

        旋轉式真空泵(約500L/min)

        氣體導入口

        反應氣體2個、填充氣體1個、空氣1個

        外形尺寸

        W1860×D1100×H1800mm

        其它同類產品如下:
        雅馬拓YSP600U等離子清洗儀器:
        產品特點:
        樣品傳輸系統(tǒng)為模塊式,便于組合。
        體積小,節(jié)省空間。
        選用小型腔體,反應效率高。
        更容易嵌入生產線使用。
        可通過操作面板自由切換等離子模式。
        配備冷卻反應臺。

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        技術參數(shù):

        型號

        YSP600U

        YSP2KU

        模式

        RIE(DP模式選購)

        高頻輸功率

        600W

        2000W

        反應臺尺寸

        W300×D300mm

        W600×D600mm

        反應氣體

        2進氣系統(tǒng)(氧氣、氬氣)

        反應氣體流量控制

        質量流量控制器

        氣體導入口

        反應氣體2個、填充氣體1個、空氣1個

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